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RÉSUMÉ
La diffraction des électrons rétrodiffusés ou EBSD (Electron BackScatter Diffraction) dans un microscope électronique à balayage est devenue, depuis les années 2010 une technique très utilisée dans les laboratoires universitaires ou industriels, en particulier en métallurgie. Elle permet de caractériser simultanément la microstructure et la texture cristallographique locale des matériaux polycristallins. L’EBSD permet d'accéder non seulement à des cartographies d'orientations mais aussi à celles des phases. De plus, il est possible d'estimer des déformations élastiques et plastiques, ainsi que l'énergie emmagasinée par les grains au cours de la déformation. Outre l’analyse des matériaux métalliques, cette technique d’analyse est maintenant employée dans tous les domaines ou des matériaux cristallisés sont présents (minéraux, céramiques, …).
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Lire l’articleAuteur(s)
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Thierry BAUDIN : Docteur en sciences et génie des matériaux de l’École nationale supérieure des mines de Paris - Directeur de recherche au CNRS - Institut de chimie moléculaire et des matériaux d’Orsay, université Paris-Saclay, Orsay, France
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François BRISSET : Docteur en sciences des matériaux de l’université Paris XI - Ingénieur de Recherche au CNRS - Institut de chimie moléculaire et des matériaux d’Orsay, université Paris-Saclay, Orsay, France
INTRODUCTION
Plusieurs méthodes peuvent être utilisées pour mesurer des orientations locales au sein d’une microstructure. L’une d’entre elles est devenue un outil très répandu dans les laboratoires universitaires et industriels : la diffraction des électrons rétrodiffusés (Electron BackScatter Diffraction, EBSD) dans un microscope électronique à balayage (MEB). Depuis les années 1990, avec une version entièrement informatisée, on peut tracer des cartographies d’orientations (reconstruction de la microstructure à partir de la mesure des orientations cristallographiques) et des phases.
À partir de ces cartographies, une multitude de données sont accessibles, en plus de la texture cristallographique elle-même : distribution des joints de grains, gradients d’orientations intragranulaires, etc. Les analyses de structures de déformation, de recristallisation, de transformation de phases et de croissance de grains s’en trouvent largement facilitées.
L’analyse de la texture peut être locale, mais aussi globale, c'est-à-dire comparable à celle estimée par diffraction des rayons X ou des neutrons, à condition de considérer un nombre suffisant de grains.
La qualité relative des diagrammes de diffraction est une donnée importante, puisqu’elle peut être un indicateur de l’écrouissage du matériau et un moyen d’estimer la fraction de grains vierges de dislocations dans un matériau partiellement recristallisé. Une analyse fine de ces diagrammes permet d’accéder à la mesure de déformations élastiques et plastiques.
Cet article présente l’EBSD, ses possibilités et des exemples de résultats obtenus sur des matériaux métalliques. Son complément [M 4 139] décrit notamment des exemples de résultats obtenus lors de quelques études de recristallisation et de croissance de grains. Il montre aussi l’intérêt d’un couplage entre l’EBSD et la simulation, pour mieux appréhender les mécanismes microstructuraux mis en jeu. Enfin, l’estimation d’une texture globale, ainsi que celle des déformations élastiques et plastiques, sont aussi abordées.
MOTS-CLÉS
microstructure texture EBSD Joints de grains Matériaux cristallins Cartographie d’orientations
VERSIONS
- Version archivée 1 de déc. 2010 par Thierry BAUDIN
DOI (Digital Object Identifier)
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1. Principe et mise en œuvre
Compte tenu du fort développement de la technique EBSD ces dernières années, le nombre de publications est considérable. Par ailleurs, des documents de synthèse ont aussi été proposés ...
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Principe et mise en œuvre
BIBLIOGRAPHIE
-
(1) - RANDLE (V.), ENGLER (O.) - Introduction to texture analysis. - Macrotexture, microtexture & orientation mapping. Gordon and Breach Science Publishers (2000).
-
(2) - Electron Backscatter Diffraction in Materials Science. - SCHWARTZ (A.J.), KUMAR (M.) et ADAMS (B.L.) Eds., Kluwer Academic/Plenum Publishers (2000).
-
(3) - L’analyse EBSD – Principes et applications. - POUCHOU (J.L.) Ed., Publication du GN-MEBA, EDP Sciences (2004).
-
(4) - Microscopie Électronique à Balayage et Microanalyses. - BRISSET (F.) Ed., EDP Sciences (2008).
-
(5) - Electron Backscatter Diffraction in Materials Science. - SCHWARTZ (A.J.), KUMAR (M.), ADAMS (B.L.) et FIELD (D.P.) Ed., Second Edition, Springer (2009).
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(6) - ENGLER (O.), RANDLE (V.) - Introduction to texture analysis – Macrotexture,...
DANS NOS BASES DOCUMENTAIRES
-
Analyse EBSD – Déformation et recristallisation des matériaux métalliques.
-
Texture et anisotropie des matériaux polycristallins – Cartographie par diffraction de Kikuchi.
-
Diffraction dans les métaux et alliages : conditions de diffraction.
-
Microanalyse X par sonde électronique – Principe et instrumentation.
-
...
NORMES
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Lignes directrices pour la mesure d'orientation par diffraction d'électrons rétrodiffusés - ISO 24173 - 2009
ANNEXES
1.1 Constructeurs – Fournisseurs – Distributeurs (liste non exhaustive)
BLG Vantage
High resolution angular EBSD https://www.hrebsd.com/wp/
NORDIF
EBSD detectors for any SEM https://www.nordif.com/en
EDAX https://www.edax.com/ https://www.edax.com/products/ebsd
OXFORD Instruments https://nano.oxinst.com/products/ebsd/
BRUKER https://www.bruker.com/en/landingpages/bna/technology/what-is-ebsd.html
MTEX
Free and open source Matlab toolbox for analyzing and modeling crystallographic textures by means of EBSD or pole figure data https://mtex-toolbox.github.io/index
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