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Ventilateurs. Compresseurs - Aspects technologiquesArticle de référence | Réf : BM4000 v1
Auteur(s) : Jean LECLERC
Date de publication : 10 oct. 1997
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Nature et qualité du vide - ContaminationCet article fait partie de l’offre
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Le vide est une technologie déroutante : le vidiste est souvent à la recherche du diagnostic lui permettant de comprendre ce qui se passe dans son installation, puis le traitement appliqué, il en analyse les effets pour aboutir au résultat escompté. Les instruments de mesure (peu nombreux) ne le renseignent que très mal sur ce qui se passe à l’intérieur. La complexité des phénomènes due à l’interdépendance des paramètres physicochimiques rend l’interprétation difficile.
La réussite est d’ailleurs régulièrement remise en cause au cours du temps car l’exploitation nécessite elle aussi toutes les qualités requises. L’ouverture d’une porte ou d’un sas, le changement d’une jauge, l’arrêt puis la remise en route d’un groupe de pompage doivent se faire avec des procédures rigoureuses.
Bien qu’entourés par le vide spatial (que nous commençons à apprivoiser), nous sommes contraints de dépenser énormément d’énergie pour réaliser un vide qui est loin d’en avoir la qualité.
Le demandeur néophyte d’une installation sous vide à un concepteur vidiste se trouve très vite dans l’embarras par les questions que lui pose celui-ci :
quel sera le niveau de pression à atteindre ; et pourquoi ?
quelle est la charge dégazante ?
quelle est l’importance de la qualité du vide à obtenir ?
l’installation sera-t-elle à fonctionnement continu ou dis-continu ? etc.
On peut remplir ainsi un questionnaire important faisant, en plus, entrer les problèmes de site, d’économie, etc.
Les progrès récents (depuis les années soixante-dix) permettent aux spécialistes du vide de proposer tout un arsenal de solutions pour des applications classiques. Mais ces solutions sont des compromis et si la prévision ou la spécification changent quelque peu, le problème est à revoir entièrement.
Le problème du coût est très souvent un facteur décisif et quelquefois, il vaut mieux investir dans le choix des matériaux ou dans un bon traitement de surface que dans un système de pompage plus puissant. Une pompe capable de 10−4 Pa avec le débit théorique suffisant n’évacuera pas toujours...
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(1) - ROMMEL (G.) - Notions de base en technique du vide - . S.F.V. 1995.
(2) - DUVAL (P.) - Le vide. Ses applications, son obtention - . S.F.V. 1993.
(3) - DUVAL (P.) - High Vacuum Production in the microelectronics industry - . Elsevier 1988.
(4) - O’HANLON (J.F.) - A user’s guide to vacuum technology - . John Wiley & Sons 1980.
(5) - HABLANIAN (M.H.) - High Vacuum Technology - . A practical guide. Marcel Dekker 1990.
(6) - HARRIS (N.S.) - Modern Vacuum Practice - . Mac Graw Hill 1989.
(7) - RICARD (A.) - Plasmas réactifs - ....
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