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Interférences de la lumière - Théorie et applications| Réf : R6490 v1
Auteur(s) : Frank BERNOUX, Jean-Philippe PIEL, Bernard CASTELLON, Christophe DEFRANOUX, Jean-Hervé LECAT, Pierre BOHER, Jean-Louis STEHLÉ
Date de publication : 10 juin 2003
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3.1 Transformée de Fourier et échantillonnage
Considérons un signal de la forme :
ω étant la pulsation de rotation de l’élément tournant.
Le signal attaque un convertisseur analogique-numérique qui lit N valeurs de I (t ) (figure 5). Ces N valeurs permettent le calcul de I 0 , α, β [5] :
avec :
Les N valeurs d’échantillonnage ne sont utilisées ici que pour la détermination de la composante continue et des harmoniques en 2 ω . Les harmoniques supérieures, dues à des phénomènes parasites, peuvent aussi être identifiées dans la mesure où la fréquence d’échantillonnage est assez élevée, ce qui permet de caractériser les défauts d’alignement du montage optique.
La valeur de la fréquence d’échantillonnage doit être supérieure à 4ν = 4ω / 2π, 2ν étant la fréquence observée du signal. En pratique, il est utile de choisir une valeur plus élevée afin de pouvoir caractériser un défaut d’alignement, de polarisation, ou de non-linéarité du détecteur. La valeur de la fréquence d’échantillonnage sera donc le double de la fréquence maximale observée.
La précision de mesure d’une harmonique dépend par ailleurs de la finesse spectrale Δf et donc de l’intervalle...
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3 - TRAITEMENT DU SIGNAL
3.1 - Transformée de Fourier et échantillonnage
3.2 - Méthode Hadamard et intégration
3.3 - Étalonnage
3.4 - Mesure de tan et cos
4 - EXPLOITATION DES PARAMÈTRES ELLIPSOMÉTRIQUES
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4.3 - Couche opaque
4.4 - Multicouche
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