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Les capteurs MEMS - Principes de fonctionnement| Réf : R431 v1
Auteur(s) : Gilles Amendola, Patrick Poulichet, Laure Sevely, Laurie Valbin
Date de publication : 10 sept. 2011
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Nous donnons ici un aperçu des capteurs MEMS industrialisés. Le paysage est en évolution et les fabricants sont nombreux, il n’est donc pas possible de tous les citer.
Il existe, sur le marché, des accéléromètres mono, bi et tri-axes. L’électronique de conditionnement est généralement intégrée sur la même puce ou dans le même boîtier. Ceci permet de convertir l’accélération en signal analogique ou numérique.
Parmi les principaux fabricants d’accéléromètres, on trouve ST-Microelectronis, Analog Devices ou Bosch (voir quelques exemples dans le tableau 4).
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Dans le tableau 5, quelques exemples de gyromètres MEMS mono, bi et tri-axes à sorties analogique ou numérique sont donnés.
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Les capteurs de pression se trouvent dans le contrôle industriel, contrôle moteur en automobile, également pour la mesure de pression de pétrole liquide ou de gaz. Les fabricants sont assez nombreux : All Sensors, Bosch, Freescale, Infineon, ST... (tableau 6).
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On trouvera, dans le tableau 7, les principaux fabricants de microphones utilisant la technologie des MEMS. On notera l’arrivée des modèles à sortie numérique directe. Beaucoup de ces dispositifs sont utilisés dans les téléphones mobiles. Ce marché est en plein développement, outre les fabricants cités ci-dessous, les sociétés ST et Omron se sont alliées pour produire des microphones MEMS dont les documentations techniques ne sont pas encore disponibles à ce jour.
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(1) - LIU (K.), ZHANG (W.), CHEN (W.), LI (K.), DAI (F.), CUI (F.), WU (X.), MA (G.), XIAO (Q.) - The development of micro-gyroscope technology - Journal of Micromechanics and Microengineering – Volume 19(1), Pages 1-29 (2009).
(2) - EATONY (W.P.), SMITH (J.H.) - Micromachined pressure sensors : review and recent developments - Smart Materials and Structures. Volume 6(5), Pages 530-539 (1997).
(3) - TRAUTWEILER (S.), MOSIER (N.), ZDANKIEWICZ (E.) - New Silicon-Based Metal-Oxide Chemical Sensors - MicroChemical Systems, http://archives.sensorsmag.com/articles/0999/109/index.htm.
(4) - TSAI (P.P.), CHEN (I.-C.), HO (C.-J.) - Ultralow power carbon monoxide microsensor by micromachining techniques - Sensors and Actuators B 76 380-387 (2001).
(5) - AIKEN (T.) - * - . – MOS Air Quality Sensors Make Vehicle Cabins Safer, http://archives.sensorsmag.com/articles/0204/40/main.shtml.
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