MMIC – Evolution et technologie

La première réalisation de circuits intégrés monolithiques analogiques micro-ondes (Monolithic Microwave Integrated Circuit : MMIC) en 1975 a ouvert un nouveau domaine qui n’a cessé d’évoluer. Alors que le développement de ces circuits a d’abord été entraîné par le secteur militaire, la plupart des applications sont maintenant civiles : soit pour le grand public telles que les radiocommunications terrestres, soit à hautes performances comme dans les répéteurs micro-ondes à bord de satellites. À l’origine, les MMICs concernaient exclusivement les technologies III-V, ils se sont étendus par la suite aux technologies silicium. Dans une première partie, nous présentons l’état de l’art et les potentialités fréquentielles des MMICs, les principales filières technologiques et leurs domaines d’applications. Nous y décrivons les principales étapes et outils de conception des MMICs. Une seconde partie est consacrée à la description générique de la technologie des MMICs suivie des étapes particulières aux technologies III-V et silicium.

Cette étude des circuits intégrés monolithiques micro-ondes se complète de plusieurs autres articles :

• [E 1426] « MMIC : composants – Transistors, technologies et modélisation »,

• [E 1427] « MMIC : composants – Composants passifs et circuits de polarisation »,

• [E 1428] « MMIC – Déphaseurs et amplificateurs »,

• [E 1429] « MMIC – Oscillateurs, mélangeurs, convertisseurs ».

Un glossaire et une liste d’acronymes sont présentés en fin d’article.