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Faisceaux d’ions - Théorie et mise en œuvreArticle de référence | Réf : M4396 v2
Auteur(s) : Erwan OLIVIERO
Date de publication : 10 déc. 2021
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Les exemples d’application décrits dans ce paragraphe illustrent un aspect méconnu des possibilités de l’irradiation ionique, qui concerne la mise en ordre structurale de systèmes partiellement désordonnés.
Pour des conditions adaptées de densité d’énergie déposée (nature des ions, flux, énergie), le faisceau d’ions permet d’apporter l’énergie au système pour activer sa transformation.
4.1 Cristallisation par IBIEC (Ion Beam Induced Epitaxial Crystallization)
Ce mode de croissance consiste à irradier une interface amorphe/cristal avec un faisceau d'ions pour activer l'épitaxie en phase solide. Lors de cette irradiation, on choisit l’énergie des ions de telle sorte que leur parcours soit bien supérieur à l'épaisseur de la couche amorphe (jusqu’à quelques microns). Les défauts d'implantation résultant de leur arrêt sont donc situés au-delà de l'interface amorphe/cristal et ne perturbent pas le processus de croissance.
On peut ainsi, dans des conditions hors équilibre thermodynamique et à des températures où la cristallisation thermique est totalement inhibée, faire croître le cristal au dépens de l'amorphe.
L'énergie transmise par les ions, lors des interactions particules/matière qui se produisent le long de leur trajet, permet d'activer, soit la cristallisation, soit l'amorphisation (figure 13).
Les mécanismes proposés pour expliquer ce phénomène ...
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ÉTUDE ET PROPRIÉTÉS DES MÉTAUX
(1) - KOSTLER (H.), TRAVERSE (A.), NEDELLEC (P.), DUMOULIN (L.), RUAULT (M.-O.), SCHAPBACH (L.), BURGER (J.P.), BERNAS (H.) - A new hydride : MgHx prepared by ion implantation. - Journal of Physics : Condens. Matter, Institut Of Physics (IOP) Publishing Ltd, 3, p. 8767-8776 (1991).
(2) - RAUSCHENBACH (B.), KOLITSCH (A.), HOHMUTH (K.) - Iron nitride phases formed by nitrogen ion implantation and thermal treatment. - Physica Status Solidi A, n° 2, Wiley Interscience, 80, p. 471-475 (1983).
(3) - HANSEN (M.), ANDERKO (A.K.) - Constitution of Binary Alloys (Constitution des alliages binaires). - Metallurgy and metallurgical engineering series, Genium Publishing Corporation Amsterdam & New York., 2e édition, 1305 p., © 1958 (1985).
(4) - HANSEN (M.), ELLIOT (R.P.) - Constitution of Binary Alloys : first supplement (Constitution des alliages binaires, suppléments à [81]). - Schenectady, N.Y. : Genium, 874 p. (1986).
(5) - SAWADA (K.), PAI (C.S.), LAU (S.S.), POKER (D.B.), BUCHAL (CH.) - Ion...
Émission X induite par particules chargées (PIXE) : théorie.
Émission X induite par particules chargées (PIXE) : applications.
Spectrométrie de collisions élastiques et de réactions nucléaires. Théorie.
Spectrométrie de collisions élastiques et de réactions nucléaires. Applications.
Spectrométrie de masse organique – Principe, méthodes d’introduction et d’ionisation.
...
1.1 Constructeurs – Fournisseurs – Distributeurs (liste non exhaustive)
Principaux fournisseurs d’implanteurs commerciaux ou services d’implanta- tions
Axcelis Technologies, Beverly, MA, États-Unis :
Applied Materials, Horsham, Royaume-Uni :
https://www.appliedmaterials.com/
Sumitomo Eaton Nova, Tokyo, Japon :
Nissin Electric, Kyoto, Japon :
Ibis Technology Danvers, MA, États-Unis :
http://host.web-print-design.com/ibis/index.html
Danfysik, Jyllinge, Danemark :
Advanced Ion Beam Technology, San Jose, CA, États-Unis :
Ion Beam Service, Peynier, France :
http://www.ion-beam-services.com
High Voltage Engineering, Amersfoort, Pays-Bas :
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