Article de référence | Réf : TRI4700 v1
Auteur(s) : Brice ARRAZAT, Karim INAL
Date de publication : 10 sept. 2012
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Frottement, usure et lubrification (89 articles en ce moment)
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1.1 Intérêts des microrelais MEMS ohmiques
Le premier microrelais MEMS ohmique est constitué d'une partie mobile (cantilever en oxyde de silicium SiO2) et de contacts en or (figure 1). Un film mince en or (Thin Au - figure 1) de 300 nm d'épaisseur déposé sur une couche d'accroche en chrome permet d'amener le courant de la partie mobile (B - figure 1). À son extrémité, une couche de 2 µm d'or est électrodéposée, notée Plated Au sur la figure 1. L'actionnement électrostatique permet de fermer ou d'ouvrir le contact électrique et ainsi de propager ou d'interrompre le courant vers la partie fixe (A - figure 1). La résistance électrique du contact (RC) mesurée est de 5 Ω.
L'auteur met en évidence la nécessité d'améliorer leur fiabilité et également des perspectives prometteuses en termes de performances RF (radio fréquence) avec notamment la diminution de la RC ...
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FROTTEMENT, USURE ET LUBRIFICATION
(1) - PETERSEN (K. E.) - Micromechanical membrane switches on silicon,IBM J. Res. Dev. - vol. 23, pp. 376-385, July 1979.
(2) - COUTU (R. A.), KLADITIS (P. E.), STARMAN (L. A.), REID (J. R.) - A comparison of micro-switch analytic, finite element, and experimental results - . Sensors and Actuators A : Physical, vol. 115, no. 2-3, pp. 252-258, Sep. 2004.
(3) - LARSON (L.), HACKETT (R.), MELENDES (M.), LOHR (R.) - Micromachined microwave actuator (mimac) technology-a new tuning approach for microwave integrated circuits. - Microwave and Millimeter-Wave Monolithic Circuits Symposium, pp. 27-30, 1991.
(4) - GOLDSMITH (C.), LIN (T.-H.), POWERS (B.), WU (W.-R.), NORVELL (B.) - Micromechanical membrane switches for microwave applications - . Microwave Symposium Digest, IEEE MTT-S International, vol. 1, pp. 91-94, 1995.
(5) - REBEIZ (G.), MULDAVIN (J.) - Rf mems switches and switch circuits - . Microwave Magazine, IEEE, vol. 2, no. 4, pp. 59-71, Dec 2001.
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États de surface – Mesure
Dureté des corps et analyse qualitative.
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