Microrelais MEMS ohmiques
Tribologie des couches minces appliquée au contact ohmique des microrelais MEMS

INTRODUCTION

1 - MICRORELAIS MEMS OHMIQUES

• 1.1 - Intérêts des microrelais MEMS ohmiques

  

• 1.2 - Accroissement de la durée de vie

• 1.3 - Dégradation des surfaces de contact

• 1.4 - Conclusion

2 - ANALYSE STATISTIQUE DE LA DÉFORMATION LOCALE DES SURFACES DE CONTACT

• 2.1 - Contact non permanent versus collage : le paramètre de Fuller

• 2.2 - Reproduction du contact au nano-indenteur

  

• 2.3 - Interprétation des forces d'adhésion

3 - ÉTUDE DISCRÈTE DE LA DÉFORMATION DES ASPÉRITÉS DES SURFACES NANORUGUEUSES

• 3.1 - Relevé topographique avant et après nano-indentation sphérique

• 3.2 - Traitements d'images AFM : discrétisation de la surface

• 3.3 - Identification de la déformation de chaque aspérité

  

4 - MODÉLISATION MÉCANIQUE DU CONTACT RUGUEUX

• 4.1 - Déformation discrète d'une aspérité

• 4.2 - Quelques développements

• 4.3 - Principe du modèle proposé

• 4.4 - Confrontation entre expérience et modélisation

  

• 4.5 - Bilan

5 - CONCLUSIONS ET PERSPECTIVES

6 - GLOSSAIRE