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Mesures sans contact - Méthodes optiques (partie 1)Article de référence | Réf : R1333 v1
Auteur(s) : Jean‐Louis CHARRON
Date de publication : 10 juin 2004
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Il est dérivé du principe de fonctionnement d’un microscope confocal.
Le système de mesure (figure 7) est composé d’une source lumineuse ponctuelle, d’une lentille de collimation qui permet de réaliser un faisceau parallèle, une lentille de focalisation (objectif à grande ouverture numérique) qui permet d’éclairer la pièce à mesurer avec un point lumineux très petit (sa taille est voisine de la résolution de l’objectif). Pour obtenir les plus grandes étendues de mesure ou effectuer un asservissement, la lentille de focalisation est mobile. La lentille de focalisation est aussi utilisée pour voir la lumière renvoyée par la pièce à mesurer. Une lame séparatrice permet de diriger la lumière réfléchie par la pièce vers un dispositif qui permet de mesurer les écarts de mise au point de l’objectif de focalisation : la défocalisation.
Trois méthodes sont utilisées pour mesurer la défocalisation :
celle qui utilise l’astigmatisme d’une lentille 3.1.1 ;
la détection confocale 3.1.2 ;
la détection par prisme 3.1.3.
3.1.1 Détection par utilisation de l’astigmatisme
Une optique de détection fortement astigmate est utilisée : elle forme l’image de la lumière renvoyée par la pièce à mesurer sur un détecteur quatre-quadrants, la forme de cette image est fonction de la position de la pièce à mesurer par rapport au foyer de la lentille de focalisation.
Ainsi, l’image représentée (figure 8b) correspond à une pièce au foyer...
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