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Mesures sans contact - Méthodes optiques (partie 1)| Réf : R1333 v1
Auteur(s) : Jean‐Louis CHARRON
Date de publication : 10 juin 2004
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L’interférométrie permet de faire des mesures de distance sans contact, mais, pour en améliorer les performances on utilise dans certains cas des dispositifs réflecteurs qu’on lie à la pièce à mesurer. Elle permet de faire des mesures unidimensionnelles ou tridimensionnelles selon la mise en œuvre de la méthode. Les mesures bidimensionnelles ont très peu de développement industriel : on effectue une analyse sur une ligne avec des systèmes capables de mesurer une surface avec une méthode tridimensionnelle. Un système bidimensionnel peut être construit en associant un capteur unidimensionnel et un seul mouvement mécanique en translation de précision.
2.1 Mesures unidimensionnelles
L’interféromètre utilise un faisceau lumineux de longueur d’onde λ émis par un laser.
Un des modes de réalisation les plus simples est celui de Michelson (figure 2). Le faisceau lumineux d’intensité I0 est divisé en deux par une lame semi-réfléchissante :
un faisceau est dirigé vers un miroir de référence ;
l’autre vers le miroir mobile ou la pièce à mesurer. Les faisceaux réfléchis par ces deux miroirs s’ajoutent grâce au miroir semi-réfléchissant et le faisceau résultant est mesuré par un photodétecteur. La lumière émise par le laser étant cohérente, il se produit des interférences...
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