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États de surface - MesureArticle de référence | Réf : R1390 v1
Auteur(s) : Patrick BOUCHAREINE
Date de publication : 10 sept. 1999
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Pour caractériser la géométrie d’une surface, on s’intéressera aux variations de la cote z (x,y ) localement normale à la surface moyenne en fonction des paramètres x et y de position sur la surface, et ce, à différentes échelles.
À l’échelle de la globalité de la pièce, on s’intéresse aux écarts de la surface moyenne par rapport à une surface idéale de forme simple : plan, sphère, cylindre ou cône par exemple. Dans cette étude des écarts de forme, on fera abstraction de la rugosité en définissant une surface moyenne locale.
À une échelle microscopique (quelques micromètres ou quelques dizaines de micromètres en x et y ), il s’agira de ce que l’on appelle la rugosité, que l’on n’étudiera généralement pas sur toute la surface, mais sur quelques échantillons judicieusement distribués. Cela pourra être un élément de surface dont on donnera une image à deux dimensions ou une ligne analysée suivant une dimension.
On voit là une difficulté fondamentale dans l’étude des périodes des défauts pris en compte. Les écarts à une surface simple idéale sont variables suivant que l’on prend ou non en compte des défauts de période spatiale particulière. On appellera écarts de forme les écarts de la surface réelle localement lissée, par rapport à la surface idéale. On appellera rugosité les écarts par rapport à une surface lisse mais qui suit les écarts de forme de la surface réelle. Et entre les défauts de rugosité qui ne prennent en compte que les défauts de courtes périodes spatiales, c’est-à-dire de grandes fréquences spatiales, et les écarts de forme qui ne prennent en compte que les défauts de grandes périodes spatiales, c’est-à-dire de petites fréquences spatiales, on distingue ce que l’on appelle l’ondulation (en anglais « waviness ») qui rassemble les défauts dont les périodes spatiales sont comprises entre quelques centaines de micromètres et quelques millimètres.
Rugosité et ondulation traduisent ce que l’on appelle l’état de surface.
Ces notions sont illustrées sur les enregistrements de la figure ...
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(1) - CAGNET (M.), FRANÇON (M.), THRIERR (J.-C.) - Atlas de phénomènes optiques. - Springer Verlag (1962).
(2) - WHITEHOUSE (D.-J.) - Handbook of surface metrology. - IOP Publishing Bristol (1996).
(3) - MOORE (W.-R.) - The foundations of Mechanical Accuracy. - The Moore Special Tool Company, Bridgeport, Connecticut 06607 (1970).
(4) - MALACARA (D.) - Optical shop testing. - J. Wiley series in Pure and Applied Optics (1992).
(5) - SCHULTZ (G.), SCHWIDER (J.) - Interferometric testing of smooth surfaces. - Progress in Optics XIII, E. Wolf editor, Elsevier Science Publisher (1976).
(6) - SCHWIDER (J.) - Advanced Evaluation Techniques in Interferometry. - Progress in Optics, E. Wolf editor, Elsevier Science Publishers (1990).
...
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques métrologiques des filtres à phase correcte. - NF EN ISO 11562 - Mars 1998
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Paramètres liés aux motifs. - NF EN ISO 12085 - Mars 1998
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Étalonnage des instruments à contact (palpeur). - NF EN ISO 12179 - Mai 2000
Spécification géométrique des produits (GPS) - Indication des états de surface dans la documentation technique de produits. - NF EN ISO 1302 - Avril 2002
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques nominales des appareils à contact (palpeur). - NF EN ISO 3274 - Mars 1998
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Termes, définitions et paramètres d’état de surface. - NF...
(liste non exhaustive)
ADE Phase Shift http://www.phase-shift.com
EXFO Burleigh http://www.exfo.com
FEI Company http://www.feicompany.com
Mahr http://www.mahr.de
Renishaw http://www.renishaw.com
Solarius Inc. http://www.solarius-inc.com
Taylor Hobson http://www.taylor-hobson.com
Tesa Technology http://www.tesabs.ch
Veeco http://www.veeco.com
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Zygo http://www.zygo.com
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