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États de surface - MesureArticle de référence | Réf : R1390 v1
Auteur(s) : Patrick BOUCHAREINE
Date de publication : 10 sept. 1999
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Mesures mécaniques et dimensionnelles (108 articles en ce moment)
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D’autres techniques optiques dérivées de l’autocollimation ont été développées en laboratoire pour tester, avec la meilleure sensibilité, la rectitude de surfaces optiques jusqu’à plusieurs dizaines de centimètres de diamètre, mais avec des périodes spatiales qui, sans entrer dans le domaine de la rugosité, se situent plutôt dans celui de ce que nous avons appelé les ondulations. Certains montages d’optique géométrique donnent d’excellents résultats dans ce domaine.
On peut contrôler des miroirs avec un profilomètre dont on peut décrire ainsi de manière simplifiée le principe du fonctionnement (figure 20). Un faisceau laser fixe est émis vers un système de miroirs et de prisme formant ce que l’on appelle une équerre optique. Ce système dévie le faisceau d’un angle qui ne dépend pas de l’orientation de l’équerre par rapport au faisceau et qui est égal au double de l’angle entre les deux faces du prisme. L’équerre se déplace au-dessus du miroir testé sur toute sa longueur (jusqu’à 1 m) et le faisceau réfléchi sous incidence à peu près normale retourne vers le laser où il est repris par une lame semi-réfléchissante vers un détecteur à quatre quadrants. Toute variation de direction du plan de réflexion du miroir testé se traduit par une rotation d’un angle double du faisceau réfléchi. La sensibilité des cellules à quatre quadrants pour détecter une variation de direction d’un faisceau laser est excellente. Elle est limitée par les fluctuations d’indice dues à la turbulence de l’air. Notons à ce sujet que, dans une mesure de ce type, il vaut mieux avoir un brassage d’air qui donne un faisceau agité autour d’une direction juste, plutôt qu’une atmosphère calme où le faisceau bouge lentement, mais peut se retrouver dans des directions significativement différentes à cause de l’établissement d’un gradient d’indice.
Dans le cadre d’une collaboration franco-italienne, on construit dans la banlieue de Pise un grand interféromètre appelé Virgo (
km) pour détecter les ondes gravitationnelles qui doivent nous parvenir du centre de la Galaxie ou des...
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(1) - CAGNET (M.), FRANÇON (M.), THRIERR (J.-C.) - Atlas de phénomènes optiques. - Springer Verlag (1962).
(2) - WHITEHOUSE (D.-J.) - Handbook of surface metrology. - IOP Publishing Bristol (1996).
(3) - MOORE (W.-R.) - The foundations of Mechanical Accuracy. - The Moore Special Tool Company, Bridgeport, Connecticut 06607 (1970).
(4) - MALACARA (D.) - Optical shop testing. - J. Wiley series in Pure and Applied Optics (1992).
(5) - SCHULTZ (G.), SCHWIDER (J.) - Interferometric testing of smooth surfaces. - Progress in Optics XIII, E. Wolf editor, Elsevier Science Publisher (1976).
(6) - SCHWIDER (J.) - Advanced Evaluation Techniques in Interferometry. - Progress in Optics, E. Wolf editor, Elsevier Science Publishers (1990).
...
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques métrologiques des filtres à phase correcte. - NF EN ISO 11562 - Mars 1998
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Paramètres liés aux motifs. - NF EN ISO 12085 - Mars 1998
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Étalonnage des instruments à contact (palpeur). - NF EN ISO 12179 - Mai 2000
Spécification géométrique des produits (GPS) - Indication des états de surface dans la documentation technique de produits. - NF EN ISO 1302 - Avril 2002
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Caractéristiques nominales des appareils à contact (palpeur). - NF EN ISO 3274 - Mars 1998
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : méthode du profil - Termes, définitions et paramètres d’état de surface. - NF...
(liste non exhaustive)
ADE Phase Shift http://www.phase-shift.com
EXFO Burleigh http://www.exfo.com
FEI Company http://www.feicompany.com
Mahr http://www.mahr.de
Renishaw http://www.renishaw.com
Solarius Inc. http://www.solarius-inc.com
Taylor Hobson http://www.taylor-hobson.com
Tesa Technology http://www.tesabs.ch
Veeco http://www.veeco.com
Zeiss http://www.zeiss.com
Zygo http://www.zygo.com
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