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1 - PRÉPARATION DES ÉCHANTILLONS ET CONDITIONS OPÉRATOIRES

2 - ANALYSE QUALITATIVE

3 - CARTOGRAPHIE X

4 - ANALYSE QUANTITATIVE ET CALCULS DE CORRECTION

5 - ANALYSE D'ÉCHANTILLONS STRATIFIÉS

6 - MICROANALYSE EN MODE « PRESSION CONTRÔLÉE » OU EN CHAMBRE ENVIRONNEMENTALE

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8 - APPLICATIONS, QUELQUES EXEMPLES

9 - PERSPECTIVES : L'ANALYSE SUB-MICRONIQUE

Article de référence | Réf : P886 v1

Analyse qualitative
Microanalyse X par sonde électronique - Applications et développements

Auteur(s) : Jacky RUSTE

Date de publication : 10 juin 2009

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  • Jacky RUSTE : Ingénieur INSA, docteur-ingénieur, ingénieur senior - EDF recherches et développement, Centre des Renardières - Département matériaux et mécanique des composants (Moret-sur-Loing)

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INTRODUCTION

Cet article fait suite au texte [P 885v2] qui s'intéressait aux aspects théoriques instrumentaux de la microanalyse X par sonde électronique.

On peut distinguer trois applications principales : l'analyse chimique purement qualitative, la cartographie X et l'analyse quantitative.

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DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-p886


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2. Analyse qualitative

2.1 Spectre d'émission X

L'acquisition d'un spectre de rayons X permet de connaître la nature des éléments présents dans l'échantillon analysé. Généralement, la détection des éléments majeurs (teneur supérieure à 10 %) ne pose aucun problème quel que soit le type de spectromètre utilisé. Pour les éléments en faible concentration (< 1 %), l'analyse s'avère plus délicate. Les risques d'erreurs résident principalement dans la résolution spectrale ou énergétique du spectromètre utilisé, et dans le cas du spectromètre à dispersion de longueur d'onde, dans la résolution spectrale du cristal monochromateur (figure 1).

Ci-dessus : Spectre de rayons X obtenu en WDS sur un cristal LIF haute résolution. Les raies du titane et du vanadium sont parfaitement séparées de même que les raies et

En contrepartie, une trop bonne résolution spectrale peut poser des difficultés d'analyse en présence d'une modification de la raie d'émission liée à la liaison chimique, tant au niveau de la forme que de la position (figure 2).

En spectrométrie EDS, la médiocre résolution énergétique peut occasionner de nombreux artefacts, liés aux interférences. Dans la mesure du possible, il est conseillé de rechercher toutes les raies possibles, quitte à augmenter la tension d'accélération. La reconstruction du spectre après identification suivie d'une comparaison avec le spectre initial permet de s'assurer de la qualité de l'analyse. Notons également qu'en raison du faible taux de comptage admissible, des raies d'empilement peuvent apparaître dès que l'on dépasse les capacités de traitement de la chaîne d'analyse (temps mort > 50 %) (figure 3).

HAUT DE PAGE

2.2 Cas des rayonnements de faible énergie

Même si les détecteurs solides sont aptes à détecter...

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - NEUILLY (M.), COURTIER (J.C.) -   Erreurs et incertitudes de mesures.  -  [P 100] Base documentaire Archives Analyse-mesures (1997).

  • (2) - NEUILLY (M.) -   Modélisation et calcul de l'incertitude d'un résultat de mesure.  -  [P 260] Base documentaire Archives Analyse-mesures (1996).

  • (3) - NEUILLY (M.) -   Limite de détection.  -  [P 262] Base documentaire Mesures - Analyses (1998).

  • (4) - NEUILLY (M.) -   Erreurs de mesure.  -  [R 280] Base documentaire Archives Mesures : généralités (1987).

1 Sources bibliographiques

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Ouvrages généraux En langue française

MAURICE (F.) - MENY (L.) - TIXIER (R.) - Microscopie électronique à balayage et microanalyses. - École d'été de Saint-Martin d'Hères (1978), Les Éditions de physique (épuisé) (1979).

GN-MEBA - BRISSET (F.) - Microscopie électronique à balayage et microanalyses. - Édité par BRISSET (F.), en collaboration avec REPOUX (M.), RUSTE (J.), GRILLON (F.) et ROBAUT (F.), École d'été de Saint-Martin d'Hères (2006), EDP Sciences (2008).

BENOÎT (D.) - GRILLON (F.) - MAURICE (F.) - ROINEL (N.) - RUSTE (J.) - TIXIER (R.) - Microanalyse par sonde électronique : la spectrométrie de rayons X. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1987).

BENOÎT (D.) - BRAULT (F.) - BRESSE (J.F.) - GRILLON (F.) - MAURICE (F.) - POUCHOU (J.L.) - RUSTE (J.) - Microanalyse par sonde électronique : aspects quantitatifs. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1989).

BRESSE (J.F.) - Travaux pratiques de microscopie électronique à balayage et de microanalyse X. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1994).

BRESSE (J.F.) - FIALIN (M.) - POUCHOU (J.L.) - Microanalyse X par sonde électronique: méthodes de Monte Carlo et modèles de correction. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1997).

En langue anglaise

HEINRICH (K.F.J.) - Electron beam X-ray microanalysis. -...

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