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1 - PRÉPARATION DES ÉCHANTILLONS ET CONDITIONS OPÉRATOIRES

2 - ANALYSE QUALITATIVE

3 - CARTOGRAPHIE X

4 - ANALYSE QUANTITATIVE ET CALCULS DE CORRECTION

5 - ANALYSE D'ÉCHANTILLONS STRATIFIÉS

6 - MICROANALYSE EN MODE « PRESSION CONTRÔLÉE » OU EN CHAMBRE ENVIRONNEMENTALE

7 - MICROANALYSE EN STEM

8 - APPLICATIONS, QUELQUES EXEMPLES

9 - PERSPECTIVES : L'ANALYSE SUB-MICRONIQUE

Article de référence | Réf : P886 v1

Analyse d'échantillons stratifiés
Microanalyse X par sonde électronique - Applications et développements

Auteur(s) : Jacky RUSTE

Date de publication : 10 juin 2009

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Auteur(s)

  • Jacky RUSTE : Ingénieur INSA, docteur-ingénieur, ingénieur senior - EDF recherches et développement, Centre des Renardières - Département matériaux et mécanique des composants (Moret-sur-Loing)

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INTRODUCTION

Cet article fait suite au texte [P 885v2] qui s'intéressait aux aspects théoriques instrumentaux de la microanalyse X par sonde électronique.

On peut distinguer trois applications principales : l'analyse chimique purement qualitative, la cartographie X et l'analyse quantitative.

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De la conception au prototypage, jusqu'à l'industrialisation, la référence pour sécuriser le développement de vos projets industriels.

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-p886


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5. Analyse d'échantillons stratifiés

Si les procédures classiques de quantification imposent un échantillon homogène dans le volume d'analyse, il est cependant possible, grâce aux modèles f ( ρz ), d'analyser des échantillons stratifiés, c'est-à-dire constitués par une succession de couches minces d'épaisseur constante et dont l'épaisseur totale ne dépasse pas quelques microns.

Pour une couche enterrée entre les profondeurs ρzi et ρzi+1 contenant l'élément A, on peut, par définition de f (ρz ), écrire que l'intensité émergente caractéristique de l'élément considéré provenant de la couche i est égale à :

( 12 )

En mesurant pour différentes tensions d'accélération les variations d'intensités des éléments contenus dans les différentes couches et dans le substrat, on peut en déduire par itérations successives à la fois la composition chimique et l'épaisseur de chacune de ces couches en ajustant pour tous les éléments la courbe théorique de l'émission X aux données expérimentales. Différents modèles ont été proposés et plusieurs logiciels sont disponibles Microanalyse X par sonde électronique[12] Microanalyse X par sonde électronique[22] Microanalyse X par sonde électronique[23] Microanalyse X par sonde électronique[24].

La...

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - NEUILLY (M.), COURTIER (J.C.) -   Erreurs et incertitudes de mesures.  -  [P 100] Base documentaire Archives Analyse-mesures (1997).

  • (2) - NEUILLY (M.) -   Modélisation et calcul de l'incertitude d'un résultat de mesure.  -  [P 260] Base documentaire Archives Analyse-mesures (1996).

  • (3) - NEUILLY (M.) -   Limite de détection.  -  [P 262] Base documentaire Mesures - Analyses (1998).

  • (4) - NEUILLY (M.) -   Erreurs de mesure.  -  [R 280] Base documentaire Archives Mesures : généralités (1987).

1 Sources bibliographiques

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Ouvrages généraux En langue française

MAURICE (F.) - MENY (L.) - TIXIER (R.) - Microscopie électronique à balayage et microanalyses. - École d'été de Saint-Martin d'Hères (1978), Les Éditions de physique (épuisé) (1979).

GN-MEBA - BRISSET (F.) - Microscopie électronique à balayage et microanalyses. - Édité par BRISSET (F.), en collaboration avec REPOUX (M.), RUSTE (J.), GRILLON (F.) et ROBAUT (F.), École d'été de Saint-Martin d'Hères (2006), EDP Sciences (2008).

BENOÎT (D.) - GRILLON (F.) - MAURICE (F.) - ROINEL (N.) - RUSTE (J.) - TIXIER (R.) - Microanalyse par sonde électronique : la spectrométrie de rayons X. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1987).

BENOÎT (D.) - BRAULT (F.) - BRESSE (J.F.) - GRILLON (F.) - MAURICE (F.) - POUCHOU (J.L.) - RUSTE (J.) - Microanalyse par sonde électronique : aspects quantitatifs. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1989).

BRESSE (J.F.) - Travaux pratiques de microscopie électronique à balayage et de microanalyse X. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1994).

BRESSE (J.F.) - FIALIN (M.) - POUCHOU (J.L.) - Microanalyse X par sonde électronique: méthodes de Monte Carlo et modèles de correction. - Collection GN-MEBA, EDP Sciences (1997).

En langue anglaise

HEINRICH (K.F.J.) - Electron beam X-ray microanalysis. -...

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