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Article de référence | Réf : M4145 v1
Auteur(s) : Nabila MALOUFI
Date de publication : 10 déc. 2021
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C’est la canalisation des électrons qui est à l’origine des contrastes d’orientation observés sur les micrographies BSE, comme l’illustre la figure 3. Le rendement en électrons rétrodiffusés dépend de plusieurs facteurs dont la topographie de la zone observée, la présence de phases différentes à travers le numéro atomique moyen Z de la phase et enfin l’orientation du cristal par rapport au faisceau d’électrons. Si la zone observée n’est constituée que d’une seule phase et si sa surface est parfaitement polie ou de très faible rugosité de façon native, alors le paramètre prédominant qui influe sur le contraste BSE est l’orientation du cristal par rapport aux électrons incidents.
Grâce à la forte dépendance du rendement BSE à l’incidence des électrons, comme illustré par la courbe de I BSE = f(θ) (figure 2), les grains orientés différemment par rapport au faisceau incident ne présentent pas le même rendement BSE et peuvent être distingués. La sensibilité de la méthode est telle que des désorientations très faibles induisent un gradient de rendement en I BSE et peuvent ainsi être révélées grâce aux contrastes d’intensité visibles au sein d’un même grain. Des diagrammes de canalisation ou pseudodiagrammes de Kikuchi collectés dans les sous-grains donnent les désorientations avec une excellente résolution angulaire comme en EBSD haute résolution ...
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(1) - COATES (D.G.) - Kikuchi-like reflection patterns obtained with the scanning electron microscope. - Phil. Mag., 16, p. 1179-1184 (1967).
(2) - BOOKER (G.R.), SHAW (A.M.B), WHELAN (M.J.), HIRSCH (P.B.) - Some comments on the interpretation of the ‘kikuchi-like reflection patterns’ observed by scanning electron microscopy. - Phil. Mag., 16, p. 1185-1191 (1967).
(3) - KRIAA (H.), GUITTON (A.), MALOUFI (N.) - Modeling dislocation contrasts obtained by accurate-electron channeling contrast imaging for characterizing deformation mechanisms in bulk materials. - Materials, 12, 10, p. 1587 (2019).
(4) - REIMER (L.) - Scanning Electron Microscopy. - Springer Verlag New York (1985).
(5) - KRIAA (H.), GUITTON (A.), MALOUFI (N.) - Fundamental and experimental aspects of diffraction for characterizing dislocations by electron channeling contrast imaging in scanning electron microscope. - Scientific reports, 7, p. 9742 (2017).
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