Nature et qualité du vide - Contamination

1 - Production du vide

• 1.1 - Généralités
• 1.2 - Descente en pression
  Figure 1 - Descente en pression : courbe montrant les différentes étapes du pompage Figure 2 - Contamination de surface d’un métal : schéma Figure 3 - Adsorption par un verre : schéma Figure 4 - Descente en pression : courbe pratique Tableau 1
• 1.3 - Courbe pratique

2 - Évolution de la nature chimique

• 2.1 - Prévidage (vide primaire)
  Figure 5 - Évolution de la nature du gaz en fonction du pompage
• 2.2 - Vide secondaire
• 2.3 - Ultravide

3 - Qualité du vide. Contamination du vide

• 3.1 - Contamination par les matériaux de l’enceinte et ses accessoires
  Figure 6 - Pompage d’une enceinte de 0,4 m3 en acier inoxydable, avec et sans traitement de surface de l’enceinte et avec traitement des joints
• 3.2 - Contamination par les capteurs
• 3.3 - Contamination par les fuites virtuelles
  Figure 7 - Principales sources de fuites virtuelles
• 3.4 - Contamination par les fuites réelles
• 3.5 - Contamination par le procédé
• 3.6 - Contamination par le système de pompage
  Figure 8 - Rétrodiffusion d’huile (en unités arbitraires) dans une pompe à palettes Figure 9 - Pression de vapeur de différentes huiles pour pompes primaires Figure 10 - Installation d’une fuite pour que la canalisation à l’entrée de la pompe primaire reste toujours en flux laminaire Figure 11 - Installation d’un dispositif de sécurité afin d’éviter la rétrodiffusion et la migration d’huile lors de la défaillance du clapet antiretour Figure 12 - Piège à zéolite Figure 13 - Influence de la vitesse de pompage avec un piège à zéolite Figure 14 - Spectre typique de l’atmosphère au-dessus d’une pompe à joint d’huile Figure 15 - Représentation qualitative de la zone critique de rétrodiffusion Figure 16 - Arrangement classique d’un baffle et d’un piège cryogénique Figure 17 - Installation d’une pompe de maintien pour diminuer la rétrodiffusion
• 3.7 - Contamination par les poussières
  Figure 18 - Taille relative des poussières : les particules de fumées de cigarettes sont de l’ordre de grandeur des molécules de gaz Figure 19 - Taille relative des contaminants Figure 20 - Salle blanche pour montage [Doc. SDMS] Figure 21 - Installation d’un dispositif et d’une vanne pour diminuer le flux gazeux durant le prévidage

4 - Mesure de l’atmosphère résiduelle

• 4.1 - Généralités
• 4.2 - Analyseur de gaz résiduels
• 4.3 - Mesures optiques

5 - Mesure de la contamination des surfaces

6 - Conclusion : Qualité du vide. Le vide propre