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Techniques du vide - IntroductionArticle de référence | Réf : BM4040 v1
Auteur(s) : Jean LECLERC
Date de publication : 10 oct. 1997
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Dans le système sous vide, nous avons affaire, suivant les besoins, à deux types de contamination :
la contamination par l’atmosphère gazeuse, qui est accessible par l’analyse des gaz résiduels ;
la contamination des surfaces par des traitements physico-chimiques, qui est accessible par les techniques d’analyse de surface (spectroscopie Auger, S.E.M. Scanning Electron Microscope - X.P.S. Xray Photoelectron Spectroscopy) ; toutes ces techniques sont à mettre en œuvre quand il s’agit de mesurer la propreté d’une enceinte et .
Le premier type consiste à recueillir sur des plaquettes à surface polie les espèces qui veulent bien s’y déposer. On peut, bien sûr, refroidir à des températures très différentes (température am-biante : cas des molécules d’huile à forte tension de vapeur ; température de l’azote liquide : cas des fragments de décomposition d’huile, cas des produits de dégazage...) ...
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(2) - ROMMEL (G.) - Dimensionnement et calcul des installations sous vide. - TI B 4 080.
(3) - ROMMEL (G.) - Technique du vide. Généralités. - TI B 4 020.
(4) - VERTES (M.) - Types of contaminations, their depositions on surface and the technology of cleaning of metal and glass parts of UHV equipement. - Vuoto vol. XX no 2 avril-juin 1990.
(5) - SANTELER (D.) , WARREN (D.) - Computer solution to chamber-gas fractionation during pumpdown. - JVST A11 (1) janv.-févr. 1993.
(6) - SANTELER (D.) - Computer design and analysis of vacuum systems. - JVST A5 (4) juill.-août 1987 p. 2 472-2 478.
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