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Techniques du vide - IntroductionArticle de référence | Réf : BM4040 v1
Auteur(s) : Jean LECLERC
Date de publication : 10 oct. 1997
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Nous avons vu, dans le paragraphe 2, que de nombreuses espèces chimiques étaient présentes dans une chambre à vide à des niveaux de concentration ou de densité moléculaire liés à la pression totale. Rappelons que la pression totale est égale à la somme des pressions partielles, donc, dans une enceinte, nous avons :
3.1 Contamination par les matériaux de l’enceinte et ses accessoires
Il est évident que si une espèce chimique (oxygène dans certains dépôts de couches résistives, silicium dans les appareils à haute tension) est une cause de non-qualité, il faut veiller à l’éliminer le plus possible par un choix approprié de matériaux de l’enceinte. Il faut, en outre, surveiller les produits de traitements de surface qui resteront dans les fuites virtuelles ou seront adsorbés plus ou moins fortement sur les surfaces. De plus, nombre de ces produits sont désormais très réglementés et de nombreuses recherches sont actuellement en cours pour définir de nouveaux traitements . On ne peut pas, dans cet article, s’étendre sur le sujet qui relève de conférences spécialisées.
L’analyse chimique et les analyses de surface sont très utiles pour le choix et le traitement des matériaux ; il s’ensuit toujours un compromis entre les caractéristiques, les performances et le coût de ces matériaux.Ce sont les produits de dégazage,...
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(6) - SANTELER (D.) - Computer design and analysis of vacuum systems. - JVST A5 (4) juill.-août 1987 p. 2 472-2 478.
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