RECHERCHEZ parmi plus de 10 000 articles de référence ou pratiques et 4 000 articles d'actualité
PAR DOMAINE D'EXPERTISE
PAR SECTEUR INDUSTRIEL
PAR MOTS-CLES
NAVIGUER DANS LA
CARTOGRAPHIE INTERACTIVE
DÉCOUVREZ toute l'actualité, la veille technologique GRATUITE, les études de cas et les événements de chaque secteur de l'industrie.
Article précédent
ALD assistée par plasma (PEALD)Article de référence | Réf : RE262 v1
Auteur(s) : David MUÑOZ-ROJAS
Date de publication : 10 nov. 2016
Cet article fait partie de l’offre
Nanosciences et nanotechnologies (149 articles en ce moment)
Cette offre vous donne accès à :
Une base complète et actualisée d'articles validés par des comités scientifiques
Un service Questions aux experts et des outils pratiques
Des Quiz interactifs pour valider la compréhension et ancrer les connaissances
Présentation
Lire l'article
Bibliographie & annexes
Inclus dans l'offre
L’auteur souhaite remercier le Prof. D. Bellet pour sa lecture critique du manuscrit. Il remercie aussi pour le financement par l’Union Européenne (Marie Curie CIG grant), l’Institut Carnot Énergies du Futur, l’ARC 4 (Région Rhône-Alpes), l’Université Grenoble Alpes et l’ANR.
Vous êtes abonné à cette offre ?
Connectez-vous !
Vous souhaitez découvrir cette offre ?
Cet article est inclus dans l'offre :
NANOSCIENCES ET NANOTECHNOLOGIES
(1) - SUNTOLA (T.S.), ANTSON (J.) - Method for producing compound thin films. - 4, 058, 430 (1977).
(2) - SUNTOLA (T.S.), PAKKALA (A.J.), LINDFORS (S.G.) - Apparatus for performing growth of compound thin films. - 4, 389, 973 (1983).
(3) - NONOBE (S.), TAKAHASHI (N.), NAKAMURA (T.) - Solid State Sci. - 6, 1217-1219 (2004).
(4) - LEVY (D.H.) - * - PROCESS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION. US 7, 413, 982 B2 (2008).
(5) - DICKEY (E.), BARROW (W.A.) - J. Vac. Sci. Technol. A Vacuum, Surfaces, Film. - 30, 021502 (2012).
(6) - MAYDANNIK (P.S.), KÄÄRIÄINEN (T.O.), CAMERON (D.C.) - Chem. Eng. J. - 171, 345-349 (2011).
...
Laboratoires de Recherche
TNO – Innovation for life
Delft TU – Université technologique de Delft
Astral – Lappeenranta University of Technology – Finlande
UCAM – University of Cambridge – UK.
LMGP – Laboratoire des matériaux et du génie physique – Grenoble
http://www.lmgp.grenoble-inp.fr
Searl – Hangyang University – Corée du Sud.
https://gogohanguk.com/fr/universities/seoul/hanyang-visiting-program/
Jeju National University – Corée du Sud
NCHU – National Chung Hsing University – Taïwan
ConstructeursLotus AT – Lotus Applied Technology
Solaytec
Levitech
Beneq
Applied Materials
http://www.appliedmaterials.com
Jusung Engineering
HAUT DE PAGE
Vous êtes abonné à cette offre ?
Connectez-vous !
Vous souhaitez découvrir cette offre ?
Cet article est inclus dans l'offre :
NANOSCIENCES ET NANOTECHNOLOGIES
DÉTAIL DE L'ABONNEMENT :
TOUS LES ARTICLES DE VOTRE RESSOURCE DOCUMENTAIRE
Accès aux :
Articles et leurs mises à jour
Nouveautés
Archives
Articles interactifs
Formats :
HTML illimité
Versions PDF
Site responsive (mobile)
Info parution :
Toutes les nouveautés de vos ressources documentaires par email
DES ARTICLES INTERACTIFS
Articles enrichis de quiz :
Expérience de lecture améliorée
Quiz attractifs, stimulants et variés
Compréhension et ancrage mémoriel assurés
DES SERVICES ET OUTILS PRATIQUES
Archives
Technologies anciennes et versions
antérieures des articles
Votre site est 100% responsive,
compatible PC, mobiles et tablettes.
FORMULES
Formule monoposte | Autres formules | |
---|---|---|
Ressources documentaires | ||
Consultation HTML des articles | Illimitée | Illimitée |
Quiz d'entraînement | Illimités | Illimités |
Téléchargement des versions PDF | 5 / jour | Selon devis |
Accès aux archives | Oui | Oui |
Info parution | Oui | Oui |
Services inclus | ||
Questions aux experts (1) | 4 / an | Jusqu'à 12 par an |
Articles Découverte | 5 / an | Jusqu'à 7 par an |
Dictionnaire technique multilingue | Oui | Oui |
(1) Non disponible pour les lycées, les établissements d’enseignement supérieur et autres organismes de formation. |
||
Formule 12 mois 995 € HT |
Autres formules |
Information
Quiz d'entraînement bientôt disponible
TECHNIQUES DE L'INGENIEUR
L'EXPERTISE TECHNIQUE ET SCIENTIFIQUE
DE RÉFÉRENCE
ÉDITION - FORMATION - CONSEIL :
Avec Techniques de l'Ingénieur, retrouvez tous les articles scientifiques et techniques : base de données, veille technologique, documentation et expertise technique
SOLUTION EN LIGNE
Automatique - Robotique | Biomédical - Pharma | Construction et travaux publics | Électronique - Photonique | Énergies | Environnement - Sécurité | Génie industriel | Ingénierie des transports | Innovation | Matériaux | Mécanique | Mesures - Analyses | Procédés chimie - bio - agro | Sciences fondamentales | Technologies de l'information
PAIEMENT
SÉCURISÉ
OUVERTURE RAPIDE
DE VOS DROITS
ASSISTANCE TÉLÉPHONIQUE
+33 (0)1 53 35 20 20