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ALD assistée par plasma (PEALD)| Réf : RE262 v1
Auteur(s) : David MUÑOZ-ROJAS
Date de publication : 10 nov. 2016
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À ce jour, plusieurs matériaux ont été déposés en utilisant des réacteurs de SALD, comme détaillé dans le tableau 1. Les applications vont des composants actifs et passifs pour -transistors à couches minces (TFT), à des composants actifs pour les cellules solaires de nouvelle génération. Quelques exemples sont brièvement décrits ci-après.
La première application implique le dépôt de couches de ZnO et de Al2O3 en tant que composants à transistors à couches minces, par Kodak . Le même groupe a publié différentes études sur cette ligne, y compris l’utilisation d’inhibiteurs de croissance pour le dépôt de couches avec des motifs . Le groupe de TNO a utilisé son réacteur rotatif pour déposer des couches de passivation d’Al2O3...
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NANOSCIENCES ET NANOTECHNOLOGIES
(1) - SUNTOLA (T.S.), ANTSON (J.) - Method for producing compound thin films. - 4, 058, 430 (1977).
(2) - SUNTOLA (T.S.), PAKKALA (A.J.), LINDFORS (S.G.) - Apparatus for performing growth of compound thin films. - 4, 389, 973 (1983).
(3) - NONOBE (S.), TAKAHASHI (N.), NAKAMURA (T.) - Solid State Sci. - 6, 1217-1219 (2004).
(4) - LEVY (D.H.) - * - PROCESS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION. US 7, 413, 982 B2 (2008).
(5) - DICKEY (E.), BARROW (W.A.) - J. Vac. Sci. Technol. A Vacuum, Surfaces, Film. - 30, 021502 (2012).
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TNO – Innovation for life
Delft TU – Université technologique de Delft
Astral – Lappeenranta University of Technology – Finlande
UCAM – University of Cambridge – UK.
LMGP – Laboratoire des matériaux et du génie physique – Grenoble
http://www.lmgp.grenoble-inp.fr
Searl – Hangyang University – Corée du Sud.
Jeju National University – Corée du Sud
NCHU – National Chung Hsing University – Taïwan
ConstructeursLotus AT – Lotus Applied Technology
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Beneq
Applied Materials
http://www.appliedmaterials.com
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