Conclusion et perspectives
Micromoteurs électrostatiques à capacité variable

Les microsystèmes sont définis comme étant des systèmes miniaturisés qui assurent plusieurs fonctions telles que la perception de l’environnement, la mise en forme, le traitement et la transmission des données, une prise de décision et une action sur l’environnement. Dans des domaines d’application comme, par exemple, l’ingénierie de la santé, l’automobile, l’espace, les télécommunications, etc., les avantages liés à la miniaturisation sont nombreux : diminution de la consommation de l’énergie, accroissement des fonctionnalités, utilisation de matériaux nobles, etc. Si la faisabilité de plusieurs approches technologiques a été démontrée, la filière silicium offre cependant la possibilité de réaliser une intégration très poussée des dispositifs et d’en réduire les coûts par la mise en œuvre de méthodes de fabrication collectives. Le concept de « microsystèmes intégrés » prend alors tout son sens. Les réalisations spectaculaires, ces dernières années, de différents capteurs (jauges de contraintes, sondes de température, détecteurs optiques, etc.) et micromoteurs micro-usinés sur silicium sont là pour en témoigner.

Même si certaines réalisations sont déjà passées au stade industriel (capteur d’accélération pour Air-Bag par exemple), les travaux présentés dans cet article restent encore du domaine de la recherche. Les processus technologiques de fabrication doivent être améliorés et les lois physiques et comportementales à l’échelle micronique étudiées (microtribologie, etc.). De plus, il est encore très difficile, aujourd’hui, de réaliser des chaînes cinématiques complexes mettant en œuvre des engrenages, de façon à récupérer le mouvement de rotation produit par un micromoteur.

L’avenir des microtechnologies semble très prometteur et il est fort probable que dans quelques années, elles auront profondément changé le paysage industriel en conception et réalisation des systèmes électroniques intégrés.