Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Procédures d'analyse et performances

INTRODUCTION

1 - SPECTROMÉTRIE, IDENTIFICATION

• 1.1 - Paramètres de base
• 1.2 - En spectrométrie de masse par déflection magnétique
• 1.3 - En spectrométrie de masse à temps de vol
• 1.4 - Interprétation des spectres d'ions moléculaires
• 1.5 - Résolution spatiale, sensibilité

2 - ANALYSE QUANTITATIVE

• 2.1 - Expressions générales
• 2.2 - Analyses de traces
• 2.3 - Analyse de concentrations moyennes et fortes

3 - ANALYSE DE SURFACE EN SIMS STATIQUE

4 - PROFILAGE ANALYTIQUE

• 4.1 - Paramètres de base
• 4.2 - Mesure des profondeurs
• 4.3 - Mélange collisionnel, ségrégation induite, pulvérisation différentielle, effets de matrice
• 4.4 - Profilage par couplage érosion- détection par temps de vol (ToF-SIMS)
• 4.5 - Profilage sous faisceau polyatomique. Profilage moléculaire
• 4.6 - Résumé et conclusions

5 - ANALYSES ISOTOPIQUES

• 5.1 - Utilisation d'isotopes rares comme traceurs
• 5.2 - Mesure des rapports isotopiques

6 - ANALYSE DE PHASES

7 - IMAGERIE ET ACQUISITION À TROIS DIMENSIONS

• 7.1 - Développements techniques
• 7.2 - Identification, distribution
• 7.3 - Applications des analyses isotopiques
• 7.4 - Utilisation des effets de contraste
• 7.5 - Imagerie moléculaire
• 7.6 - Reconstitution de données en trois dimensions

8 - CONCLUSION

9 - GLOSSAIRE – DÉFINITIONS